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电子半导体行业超纯水EDI系统







1,电子半导体行业

★水质要求
  微电子工业、集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。
  中国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)

★工艺流程
   ☆二级反渗透制备超纯水工艺流程    
     预处理(砂滤器、碳滤器、软化器) →一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置 →超纯水水箱→纯水泵→用水点    
   ☆一级反渗透+混床制备超纯水工艺流程    
     预处理→一级反渗透装置→精制混床→精密过滤器→超纯水水箱→纯水泵→用水点
   ☆二级反渗透+抛光混床制备超纯水工艺流程     
     预处理→一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置→抛光混床→精密过滤器→超纯水水箱→纯水泵→用水点   
   ☆二级反渗透+EDI+抛光混床制备超纯水工艺流程     (电阻率18MΩ.cm) 
     预处理→一级反渗透装置→中间水箱→二级反渗透装置→EDI主机→超纯水水箱→纯水泵→抛光混床→超纯水水箱→纯水泵→用水点

☆EDI超纯水设备技术简介

昆山市盛泓水处理设备有限公司---EDI设备/EDI超纯水/EDI去离子水/EDI高纯水设备技术简介

1. EDI设备/EDI超纯水/EDI去离子水/EDI高纯水设备的技术特点
电去离子(EDI)技术是一种将电渗析和离子交换有机结合在一起的脱盐新工艺,英文名称electrodeionization,缩写EDI,该工艺过程取电渗析和离子交换两者之长,弥补对方之短,即利用离子交换深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不彻底,又利用电渗析极化而发生水电离产生H+和OH-实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷。因而EDI技术是一种完美的除盐工艺。
2. EDI设备/EDI超纯水/EDI去离子水/EDI高纯水设备技术的先进性
*不需化学再生药剂,生产过程无任何污染,属清洁生产;
*不需停机再生,连续生产水质稳定的高纯水(15~18MΩ·cm);
*运行稳定可靠,维护简单、运行费用低;
*占地面积小,节约场地建设费用。
3. EDI设备/EDI超纯水/EDI去离子水/EDI高纯水设备的主要作用和适用范围
EDI的作用是精除盐。在使用RO渗透水脱除97~99%离子的前提下,EDI可直接将反渗透产水提纯到纯水、高纯水、超纯水的标准,而无需使用离子交换混床,其产水的电阻率最高可达18MΩ·cm。
EDI设备在对水质要求较高的行业中具有广泛的应用市场。在电子工业、科研实验室、检验分析行业常用EDI制取18MΩ·cm以上的超纯水,在精细化工、发电、电镀行业常用EDI制取15MΩ·cm以上的高纯水,在医院和制药行业常用EDI制取5MΩ·cm以上的纯化水,在食品饮料行业应用EDI制取0.5MΩ·cm以上的初纯水等。
4. EDI设备/EDI超纯水/EDI去离子水/EDI高纯水设备的工作原理
EDI电去离子膜堆同时进行以下三个主要过程:
1)在纯水室中, 阴、阳混合离子交换树脂上的OH- 和H+离子对水中电解质离子的离子交换过程;
2)在外电场作用下,纯水室水中电解质离子通过离子交换膜被迁移到浓水室的电渗析过程;
3)电渗析的极化及交换树脂本身的水解作用所产生的H+和OH-对交换树脂的再生过程。这三个过程同时发生,相互促进,从而实现了EDI连续不断地生产高电阻率的超纯水的目标。


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